早年经历
1942年,林本坚出生在越南,从小生长在越南西贡。
1959年,到台湾新竹高级中学读书。
1963年,获得台湾大学电机工程学系学士。
1970年,获得美国俄亥俄州立大学电机工程学系博士。林本坚
工作经历
1970年-1992年,在美国国际商用机器公司任研究员、研发经理、部经理、幕僚。
1992年-2000年,在美国领创公司任总经理。
2000年,回到中国台湾,加入了台湾积体电路制造股份有限公司(以下简称:台积电)。
2000年-2015年,在台积电任资深处长、杰出科技院士和副总经理。
2008年,当选美国国家工程学院院士。
2014年,成为第一位出身业界的台湾“中央研究院”院士。
2015年底,从台积电退休。
2016年起,任台湾清华大学特聘研究讲座教授。
家庭生活
父母早先时候居住在香港,在抗战时期逃到相对安全的越南。林本坚便出生在那里。在越南,他一方面接受中国式的教育,另一方面因父亲曾是一所英文学校的校长,为他学习英文打下了扎实基础。他的妻子是黄修慧。[6]
为人处世
林本坚是虔诚的基督教徒,待人和善,说话的时候语调总是慢慢地轻轻的,以前的同事和晚辈都称他“Burn爷爷”。但是,当面对自己的工作和研究时,这个和善的老先生就会无比坚定。
人生信条
诚信、正直、操守,还有反复强调的合作精神。
公益活动
从台积电退休后,和妻子一同为俄亥俄州立大学母校创办助学基金,将未来大学大奖的100万美元奖金全数捐入基金会。林本坚
任职时间 | 职务 |
2002年-2011年 | Journal of Micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS首任总编辑 |
2003年 | 国际电机电子工程学会(IEEE)会士 |
2003年 | 国际光学工程学会(SPIE) 会士 |
IEEE终身研究员 |
科研成就
林本坚一系列突破性的创新所开拓的浸润式微影(也称光刻)方法,革新了集成电路的制程,使先进半导体芯片的特征尺寸能持续缩减为细微纳米量级,在过去十五年以及可预见的未来,为建造最强大的计算和通信系统做出了关键贡献。2002年,林本坚发明了“浸润式微影技术”,彻底改变了集成电路的生产。这项技术是在透镜和硅片表面的间隙中,用水代替空气以提高分辨率。当全世界的半导体研发团队都在专注于157纳米波长技术时,林本坚创造性地以193纳米波长的光,通过水作为介质,将其缩短至134纳米。他通过各种国际研讨会说服同行使用该技术,由此继续将摩尔定律延续下去。
出版著作
《把心放上去:林本坚的‘用心则乐’人生学》
教学成就
教育理念
“技术上的困难都是纸上谈兵,要有晚上睡不着觉的信念去解决问题。”他勉励年轻人,做科研一定是享受科学乐趣的,“不要死犟,要会转弯,会求助,‘三个臭皮匠顶个诸葛亮’。”
荣誉表彰
获奖时间 | 奖项名称 |
1975、1976、1978、1982、1984、1986、1989、1992、1994、1997年 | 美国IBM杰出发明奖 |
1988年 | 美国IBM杰出贡献奖 |
2004年 | 第一届美国 SPIE Frits Zernike 终生成就奖(SPIE颁给微影家最高的荣誉) |
2004年 | 潘文渊文教基金会研究杰出奖 |
2004年、2006年 | 台积电创新与客户伙伴奖 |
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网易科技:林本坚是极具成就的科学家和发明家,半导体工业界的英雄,“浸润式微影之父”。他彬彬有礼、丰采奕奕,颠覆了人们对科研工作者的一贯印象。内敛、安静、风趣,这几个特点,是洋溢在林本坚身上的易被感知的特点。在科学家的岗位上尽责尽心,当先生,又表现得体、周道。作为科学家,在外,45年如一日,开山辟路,荣誉等身,业界隆崇。在内,父慈子孝,伉俪荣谐,活力盎然。
台积电董事长张忠谋:假如没有林本坚及其团队,“台积电的微影(半导体关键制程之一)不会有今天这规模。”
未来科学大奖获奖:奖励他开拓浸润式微影系统方法,持续扩展纳米级集成电路制造,将摩尔定律延伸多代。
台湾清华大学电机系主任徐硕鸿教授:“林本坚院士是改写半导体历史的巨擘,也是光学微影技术的先驱者,清华能够延揽到这位谦虚又乐意传授的国际人才任教,非常荣幸。”
林本坚挚友:林本坚的心,跟上了他的每一个步伐。[5]林本坚
[1] 林本坚获2018未来科学大奖数学与计算机科学奖[引用日期2018-12-05]
[2] 百万美元“未来科学大奖”揭晓:袁隆平、马大为和林本坚等人获奖[引用日期2018-12-05]
[3] 百万美元科学奖迎首位台湾得主:做半导体“虽万千人吾往矣” · 今日头条[引用日期2021-4-27]
[4] 2018年未来科学大奖公布林本坚成首位来自台湾的获奖者 · 今日头条[引用日期2021-4-27]
[5] 全球芯片竞争 他是唯一有原创发言权的华人科学家|林本坚|科研|通信 · 网易科技[引用日期2022-02-14]
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2018年未来科学大奖获奖者
共7个词条573阅读
李家洋
第十四届全国政协常委、农业和农村委员会委员
袁隆平
杂交水稻之父、中国工程院院士
张启发
中国科学院院士
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台湾大学的知名工程师
共26个词条372阅读
黄煦涛
中国工程院外籍院士
施敏
美国工程院院士、微电子专家
林本坚
电机工程博士
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