蒸馏水:通过蒸馏冷凝制得的水,所以里面的无机盐会含的很少。如果只是经过一次蒸馏得到的水,里面虽然那些不挥发的组分(盐类)被除去,但水中挥发的组分(氨、二氧化碳、有机物)还是会进入蒸馏水中。
双蒸水:两次蒸馏
三蒸水:三次蒸馏
超纯水: 超纯水又称高纯水,是指将水中的导电介质几乎全部去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。超纯水的含盐量在0. 1mg/L以下,电导率小于0. 1μs/cm。常见纯化仪器:NANOpure或Milli-Q
去离子水: 应用离子交换树脂去除水中的 阴离子和阳离子,但水中仍然存在可溶性的有机物,可以污染离子交换柱从而降低其功效,去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。从自来水到去离子水一般要经过几步处理。先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质, 再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子, 然后加压通过反渗透膜, 最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物,假如此时电阻率还没有达到要求的话, 可以再进行一次离子交换和反渗透过程. 而蒸馏水只是先气化再冷凝, 纯度一般不如去离子水, 实际半导体工业中用的大多数是去离子水.
无菌水: 通常是通过高温蒸汽法,UHT热法,化学法,臭氧方法和物理过滤法将水中微生物杀死或过滤掉而得到的水,水中的无机盐等一般来说不会减少.
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