电容式加速度传感器

电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器，其中一个电极是固定的，另一变化电极是弹性膜片。弹性膜片在外力（气压、液压等）作用下发生位移，使电容量发生变化。这种传感器可以测量气流（或液流）的振动速度（或加速度），还可以进一步测出压力。

基本信息

LCC封装

测量范围可定制

电容式加速度传感器

优异的偏差稳定性 低模拟电压输出

高抗冲击性能

集成温度传感器

过电保护

应用领域

█惯性测量：航天；航空与制导

█倾斜测量：运输；仪器仪表；钻探

█振动测量：地震测量；数据记录仪

技术指标

参数

单位

MS9002.

MS9010

MS9030

MS9050.

MS910D.

MS9250.

全部测量范围

g

±2g

±10g

±30g

±50g

±100g

±250g

封装

LCC20(,8.9mmx8.9mm/0.35inchx0.35inch)

零位校准

mg

<10

<50

<150

<250

<500

<1250

零位稳定性(﹥48H)

mgtyp.

<0.05

<0.25

<0.75

<1.25

<2.25

<6.25

开/关重复性

mgmax.

<0.15

<0.75

<1.5

<3.8

<7.5

<18.8

零位温度系数

mg/℃typ.

<0.1±

<0.5

<1.5

<2.5

<5

<12.5

mg/℃max.

0.4

±2

±6

±10

±20

±50

比例因子(K1)

mV/g

1000±8

200±2

66.6±1

40±1

20±1

8±1

比例因子温度系数

ppm/℃typ.

100

100

100

100

100

100

min./max.

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

输入轴偏心度（Kp，Ko）

mradmax.

<10

<10

<10

<10

<10

<10

%max

1

1

1

1

1

1

分辨率/阈值（@1Hz）

mgmax.

<0.1

<0.6

<1.7

<2.8

<5.5

<12.5

非线性度

%ofFSmax.

<0.8

<0.9

<0.9

<0.9

<1

<1

gmax.

<0.02

<0.09

<0.27

<0.50

<1

<2.5

带宽

Hz

0～≥100

0～≥100

,

0～≥100

0～≥100

0～≥100

0～≥100

噪声谱密度[0;9kHz]

μV/√Hztyp.

18

18

18

18

18

18

max.

24

24

24

24

24

24

谐振频率

kHz

1.4

3.7

6.3

11

15

26

供电电压

VDC

2.5～5.5VDC,标准的校准电压为5.0VDC

重量

g

<1.5

尺寸

mm

标准值14.2X14.2X3.3mm，最大值14.48X14.48X3.79mm